重庆市标普机械有限公司(昆山瑞钧机械重庆办事处)
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中走丝切割作为我国独创的中走丝切割加工方式,应用广泛。中走丝切割的优点是可以加工淬火等热处理后的零件,异形零件,切割废料少等。与内圆切割技巧相比,中中走丝切割有其明显的缺点,主要体现在四个方面:
一是平均厚度误差较大(约为内圆切割技巧的2倍)。二是切割过程中的智能检测和控制不易完成。三,切割过程要求成功率高,很危险。一旦电线断了,无法挽救,一根单晶棒就会直接浪费掉。四,我们无法控制单个芯片的质量。一次切割完成后才能检查一批晶圆的切割质量,不同晶圆的切割质量是不一样的。在这些方面,中走丝切割在电火花加工中的内圆切削技术显示出其优越性。
体现在今天:
1.在主动和单片方法之间切换操作的便利性;
2.低成本配件(线切割机的磨料和磨料液要按时更换)。
3.切片精度高,切片成本低。同标准水平的内切片机报价为线切割机报价的1/3~1/4。线切割机还需要配备专门的焊接机,每片都可以调节;
4.小批量多标准加工中灵敏的加工可调性;
5.不同板材厚度的调整时间更短,不同棒材直径的调整时间更短。
6.维修和安装刀具很方便。20世纪80年代中后期,人们普遍认为随着大尺寸硅片的发展,线切割技能是硅片切割的主流技能,并将取代大尺寸硅片切割中的内圆切割技能。因此,人们增加了对直径超过200毫米的线切割机的研究,以应对他们技能的缺乏。
中走丝切割稳定切割的前提必须首先保证切割过程中导线不中断。
而断丝机率主要随着放电能量和切割厚度的增加而加大,即与电极丝在放电通道内所受到的离子轰击、冷却状态及停留时间密切相关。切割的效率和表面粗糙度也与极间冷却与消电离并恢复绝缘状态有关。